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新製品 新電元メカトロニクス
真空対応VCM(ボイスコイルモーター)
真空環境対応VCM
リニアステージの駆動アクチュエータとして
真空環境での使用に対応
・アウトガス対策品
真空環境でアウトガスを殆ど発生しない
・カスタム対応
お客様の仕様に合わせてカスタム設計が可能
※耐熱について
要お打合せ(環境により放熱条件が異なります)
VCMの特徴
①電流に対する推力の厳密な線形性
電流入力による正確な推力コントロールが可能
②位置変動に対する特性の安定性
動作(ストローク等)による特性の変化がない
③電流入力に対する推力応答の広帯域性
周波数を高くしても、推力感度が低下しない
・単純な入力信号で推力制御可能
・システムのモデル化が容易
→ 高度な制御システムに適する