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新製品 新電元メカトロニクス

真空対応VCM(ボイスコイルモーター)

真空環境対応VCM

リニアステージの駆動アクチュエータとして

真空環境での使用に対応

・アウトガス対策品
真空環境でアウトガスを殆ど発生しない

カスタム対応
お客様の仕様に合わせてカスタム設計が可能

※耐熱について
要お打合せ(環境により放熱条件が異なります)

VCMの特徴

電流に対する推力の厳密な線形性
電流入力による正確な推力コントロールが可能
②位置変動に対する特性の安定性
動作(ストローク等)による特性の変化がない
③電流入力に対する推力応答の広帯域性
周波数を高くしても、推力感度が低下しない

・単純な入力信号で推力制御可能
・システムのモデル化が容易
→ 高度な制御システムに適する